机械真空泵的分类有哪些?
问题:机械真空泵的分类有哪些?
回答:真空泵是一切获得真空装置的统称,包括用机械、物理、 化学以及物理化学的方法对密闭容器抽真空的各种机器或器 件。在粗真空或低真空区域,有时使用一种真空泵即可达到要 求,而在真空度要求较高时,往往需要几种不同类型的真空泵 联合工作,才能满足需要。为此,日前已生产出各种类型的真 空泵,尽管种类繁多,但从基本原理来看,可归纳为两大类:
(1)压缩型真空泵这类真空泵不断从吸气方吸取气 体,经压缩从排气方排走,从而逐渐获得真空。例如机械真空 泵在工作循环中的吸气一压缩作用,蒸汽喷射泵利用气体粘 滞牵引作用,以及分子泵的分子牵引作用,都属于这种类型。
(2)吸附型真空泵这类泵在前级泵抽至较高真空度 的基础上,利用包括吸气物质在内的各种吸气作用将气体吸去,从而进一步降低气压,提高真空度。例如离子泵利用电 离吸气作用,吸附泵、低温泵和吸气剂泵利用物理化学吸附 作用,都属于这种类型。
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